スポンサーリンク スポンサーリンク 新たなプロセス開発でエッチング速度を5倍向上、名古屋大ら：ウエハーを冷却しHFプラズマ使用 – EE Times Japan 情報 X コピー 2026.01.14 新たなプロセス開発でエッチング速度を5倍向上、名古屋大ら：ウエハーを冷却しHFプラズマ使用 EE Times Japan
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